国产光刻机研发取得阶段性突破

国内光刻机研发企业宣布在关键核心技术上取得阶段性突破，部分技术指标达到国际先进水平。

此次突破主要集中在光源系统、光学镜头和精密控制等核心部件，为国产光刻机整机研制奠定基础。

业内专家表示，国产光刻机从实验室走向产业化仍需时日，但技术积累正在加速推进。